| 품명 | Tetra Hydro Furan |
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| 제품명 | THF |
| CAS | 109-99-9 |
| PACKING | Drum |
Tetrahydrofuran (THF)은 극성 비양성자성 용매로서, 뛰어난 용해력을 가지고 있어 다양한 유기 화합물을 잘 녹입니다. 반도체 제조 공정에서는 주로 특정 고분자 물질 용해 또는 세정 보조제로서 활용될 수 있습니다.
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산업 분야 |
사용 예시 |
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Photoresist Stripping | ▶ 특정 포토레지스트 용해, 난해서 포토레지스트 제거 (고온 공정, 이온 주입 공정 이후 PR대상) |
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고분자 용해 |
▶ Polyimide 등 유기 박막 형성 전구체 용해, 특정 코팅 물질 용해(Wafer Thinning용 접착제) |
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세정 보조제 |
▶ 특정 유기 잔류물 용해도 향상(세정제 침투력 개선) |
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재료 특징 |
▶ 높은 휘발성 및 인화성, 흡입 시 유해서, 특정 플라스틱 용해서, 수분 민감성 |