| 품명 | Ethylene Diamine Tetraacetic Acid-4Na |
|---|---|
| 제품명 | EDTA-4Na |
| CAS | 64-02-8 |
| PACKING | Bag |
EDTA-4Na는 EDTA의 나트륨 염으로, 물에 잘 녹는 흰색 분말 또는 결정 형태입니다. 금속 이온과 강하게 결합하는 킬레이트제(Chelating agent)로, 다양한 산업 분야에서 금속 이온 봉쇄제, 세정제, 안정제 등으로 사용됩니다.
산업 분야 | 사용 예시 |
세정 보조제 | ▶ 웨이퍼 표면의 금속 이온(Cu, Al) 제거, 금속 배선 공전 후 잔류 이온 제거 |
공정 용수 처리 | ▶ 반도체 제조 공정에서 사용하는 초순수 내의 금속 이온 관리, 안정화에 활동 |
장비 세정 | ▶ 반도체 제조 장비의 누적된 금속 오염 제거 |
재료 특징 | ▶ 높은 순도, pH, 안전성 |