| 품명 | Propylene Glycol Methyl Ether Acetate |
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| 제품명 | PGMEA |
| CAS | 108-65-6 |
| PACKING | Drum/Bulk |
Propylene Glycol Methyl Ether Acetate (PGMEA)는 에테르, 에스터, 알코올 작용기를 모두 갖는 유기 용매로, PGME와 유사하게 뛰어난 용해력과 적절한 증기압을 가지고 있으며, 반도체 제조 공정에서 매우 폭넓게 사용되는 핵심 용매 중 하나입니다. 특히, 포토레지스트 용매로서 사용되고 있습니다.
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산업 분야 |
사용 예시 |
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Photoresist 용매 |
▶ Novolac, CAR, ArF, KrF, EUV 등 PR수지용 용매 |
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박막 형성 용매 |
▶ Polyimide, SOG, SOC등 유기 및 무기 박막 형성 재료의 용매 |
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세정제 |
▶ Post-Etch Residue제거, PR제거 보조, PR교체 시 Flushing용 세정액 |
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희석제, 반응용매 |
▶ 고농도 화학 물질의 희석, 특정 화학물질의 반응 용매 용도 |